製品型番	CM-4シリーズ	適用ウェーハ	4インチウェーハ
電力需要	AC 220V±10% / 50Hz	操作方法	手動
典型的なユーザー	大学の研究室・研究所、中小規模のチップ設計	アプリケーションの種類	直流、光電および材料の電気特性測定

応用分野

CM-4は、4インチ以下のチップ・ウェーハ・デバイスに対する手動による電気・光電特性試験を主軸としており、コンパクトな構造と高いコストパフォーマンスを備えています。主に研究開発用の実験室や少量生産時の検証、故障解析用途に適しており、大規模量産向けの自動化試験には向いていません。

技術的特徴

1. 高精度

XY10μm、回転0.1°、テーブル面の平坦度5μm

2. 高い汎用性

4インチ、360°回転、背面電極、6プローブソケット、光電／RF対応

3. 安定性と信頼性

ステンレス鋼、同軸リードネジ、真空強吸着、低漏電設計

CM-4の構造的特徴

技術仕様	台座	CM-4
サンプル台が回転する	360度回転可能、15度の微調整可能、精度0.1度、角度ロック機能付き	サンプルの固定方法
	真空吸着、中央吸引孔、多層吸着リング	X-Y移動ストローク
	X-Yの移動精度	針座プラットフォーム
	左右にそれぞれ1つの針座プラットフォームがあり、最大で小型のプローブ台を6つ配置できます。	バック電極テスト
	サンプル台は電気的に独立して浮かせており、4mmジャックにバック電極を接続可能（オプション）。	10um
	顕微鏡	顕微鏡の固定方法
	支柱回転式	顕微鏡の種類
単眼顕微鏡	体視顕微鏡	倍率を拡大する
	0.75倍～5倍ズーム	光源	同軸光源
	外部設置型LEDリング光源	200万画素（2000万画素へアップグレード可能）	16X-100X
	X-Y-Z移動ストローク	移動精度	吸着方式
	磁力吸着／真空吸着	プローブ治具
同軸ケーブル／三軸ケーブル／RFケーブル	漏電精度	固定プローブ
	スプリング固定／チューブ固定／ツメ式固定	10um/2um/0.7um/0.5um
	BNC/3軸/バナナ端子/クロコダイルクリップ/配線端子/RFインターフェース	DCニードル先の直径
RFプローブ周波数	素材	タングステン鋼／ベリリウム銅／ニッケルめっき
	外形寸法	10pA/100fA/10fA
	重量	約18キログラム
	オプションの付属品	加熱台
金メッキカセット	耐震テーブル	lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
	お客様のご要望に応じたカスタマイズ	40GHz/50GHz/67GHz/110GHz
	素材	タングステン鋼／ベリリウム銅／ニッケルメッキ
外形寸法		400W × 370D × 490H
重量		約18キログラム
オプションの付属品		加熱台	金メッキカセット
		耐震テーブル	シールドボックス
		お客様のご要望に応じたカスタマイズ