CH 高級プローブステーション
基本情報
応用分野
CHハイエンドプローブステーションは、各種の高精度ウェハ測定用途に適しており、ウェハレベル信頼性試験（WLR）、故障解析（FA）、集積回路の設計・評価、マイクロ電気機械システム（MEMS）、および高出力（HP）など、多様な専門的なテストニーズに対応します。また、IV特性曲線、CV特性曲線、LIV特性曲線、RFテスト、高電圧大電流テストなど、幅広い測定モードをサポートしています。
技術的特徴
1. 複数のシーンにおける高精度なテスト能力
IV／CV／LIV／RF／高電圧大電流など、あらゆるタイプのテストをサポートし、ウェーハレベルの信頼性評価、故障解析、MEMS、高出力デバイスといった高度な研究・産業用テストシーンを網羅します。
2. ユニバーサルデザイン
調整可能な針座プラットフォームを搭載し、迅速な上下動が可能で、試料とプローブの素早い分離を実現します。チャックは回転およびロック機能を備え、操作が簡単で効率的であり、実験や測定時の快適さを向上させます。
3. 高互換性プローブインターフェース
プローブホルダー台は、直流およびRF定位器に対応し、磁石固定式または真空固定式の取り付けが可能で、各種高精度プローブやテストアクセサリと互換性を備え、多様なテストソリューションのニーズに応じます。
4. 豊富で柔軟なオプション設定
全シリーズのカスタマイズ構成を提供しており、各種チャック、DC／RF／1～10kVの高電圧モジュール、小型ポジショナー、顕微鏡、カメラ、PCBホルダーなどを取り揃え、さまざまな試験ニーズに合わせて自由に組み合わせることが可能です。
CH-8シリーズプローブステーションの構造上の特長
CH-12シリーズプローブステーションの構造上の特長
