CP300シリーズ｜12インチ半自動プローブステージ
基本情報
応用分野
CP300シリーズのプローブステーションは、主に300mmウェハ上のチップテストを対象としており、DC‑IV／DC‑CV／パルスIV測定、シリコン光デバイスの検査、RFおよびミリ波測定、4ポート測定などの用途に広く活用できます。本装置は広い温度範囲でのIC設計検証および故障解析に対応し、ウェハレベルの信頼性試験要件を満たします。また、マイクロポジショナー、プローブカードおよび各種測定機器と組み合わせることで、効率的かつ安定したオンウェハ測定を実現します。
技術的特徴
1. 各種チップのテスト用途に特化して設計されています
DC-IV/CV、パルスIV、シリコン光デバイスの解析をサポートし、RF／ミリ波／4ポート測定に対応。IC設計検証を実施でき、−60℃～300℃の広い温度範囲における信頼性評価およびウェーハレベルの信頼性試験にも対応します。
2. 強力な互換性と拡張・アップグレード機能
マイクロポジショナーおよびカスタムプローブカードと互換性を備え、低温下でも安定した動作を実現します。顕微鏡によるプログラマブルな自動化をサポートし、短いケーブルと最適化されたミリ波経路により信号の高精度を確保します。また、7×24時間の連続的なオンチップ検査が可能です。
3. 人間工学に基づいた設計
正面から容易に供給でき、独自の受動式防振機能を備えています。ウェーハの搬送が安定しており、システムへの組み込みも簡単で、設置面積もさらに小さくなります。専用の計測器ホルダーにより配線が短縮され、測定精度が一層向上します。
CP-300の構造上の特長
